康宁Tropel®UltraFlat 200口罩系统
康宁Tropel®UltraFlat 200口罩系统
的Tropel®UltraFlatTM200掩模系统是专门为掩模行业设计的。它提供了最低的测量不确定性，为不断收紧的口罩平面规格。缩小的器件特性不仅要求更平的晶圆，而且要求更平的掩模。
的UltraFlatTM该系统用于测量光板和掩模在生产和使用的各个阶段的平整度，包括基材抛光、涂布和制版，以分析薄膜应力，并进行验证。
的UltraFlatTM该系统利用近正入射干涉测量法、坚如铁的结构设计、最先进的光学制造技术和Tropel著名的相移分析软件，提供20纳米的测量不确定度。
该系统是美国国家标准和技术研究所(NIST)可跟踪的，并提供符合SEMI标准的测量。自动化掩模处理和测量配置也可用。
