康宁®ULE®玻璃(超低膨胀玻璃)7972是一种接近零膨胀特性的钛硅酸盐玻璃，使其成为独特应用的选择材料，如机床参考块，光栅，参考块，干涉仪参考镜，望远镜镜子。

• ULE是一种单相过冷液体，CTE非常接近0 ppb/K。
• EUV ULE 7973是为满足EUVL应用的掩模和光学基板的需求而量身定制的。
• 光刻从193nm到13.4nm的转变需要步进光学从折射到反射的重大设计转变。在反射光学中，衬底材料应该是纯被动的。入射光应反射出光学和掩模的多层涂层，而不引入由底层衬底引起的任何机械或光学失真。
• 为了最小化微小温度变化造成的失真，并满足严格的EUVL规范，基片必须具有接近零的热膨胀系数(CTE)和低峰谷(P-V) CTE变化。极低的CTE要求以十亿分之一度开尔文(ppb/K)规定。
• 严格的CTE要求也迫使计量方面的改进，康宁继续改进计量方法，以满足EUVL的要求。
• 对零交叉温度的离散剪裁是可能的。

TSGTM 7972低膨胀玻璃是康宁硅酸钛低膨胀玻璃家族的第三个成员。对于那些不需要接近零膨胀材料的应用，TSG有一个宽松的绝对热膨胀系数(CTE)要求。