Tropel®µ猫™
卓越的设计，性能和灵活性
康宁公司的Tropel®µCAT™系列折射率，长工作距离微目标设计用于深紫外光波长。µCAT的优越设计属性优于Schwarzschild目标。在考虑全镜系统之前，仔细看看TropelµCAT。
好处
μ CAT设计包含了反射和折射元素，从而产生了高数值孔径、长工作距离和低遮挡的微物镜。高分辨率和得天独厚的光线收集，工作距离可以与薄膜一起工作，µCAT的特点结合了性能和灵活性，是一个成本效益的解决方案。
所有被选用于CAT靶的材料都是超低逸出的，以最大限度地减少污染源。
关于我们的产品
压低成本
压低成本
这种µCAT设计可以提供足够的带宽，以适应基于灯的系统，消除了对昂贵的激光源的需要，并降低了系统的总体成本。
这种µCAT设计可以提供足够的带宽，以适应基于灯的系统，消除了对昂贵的激光源的需要，并降低了系统的总体成本。
更少的遮蔽提高性能
更少的遮蔽提高性能
透镜中心暗度直接影响中频调制传递函数(MTF)(即图像对比度)。μ CAT的设计减少了遮挡量，提高了中频MTF。在CAT设计中，中心遮挡的量可以低至15%，而典型的史瓦西物镜的中心遮挡大于35%。
CAT的另一个特点是使用了一个“浮动的”副镜，从而消除了机械支柱或“蜘蛛”，当出现在其他微观目标时，会阻碍一些光线通过系统。
透镜中心暗度直接影响中频调制传递函数(MTF)(即图像对比度)。μ CAT的设计减少了遮挡量，提高了中频MTF。在CAT设计中，中心遮挡的量可以低至15%，而典型的史瓦西物镜的中心遮挡大于35%。
CAT的另一个特点是使用了一个“浮动的”副镜，从而消除了机械支柱或“蜘蛛”，当出现在其他微观目标时，会阻碍一些光线通过系统。
高性能的应用程序
高性能的应用程序
由于设计中包含了低遮挡，μ CAT可用于部分相干照明条件下的检测应用，或检测光面和晶圆上的图像。μ CAT靶目前用于OEM应用，包括掩模和晶片检测和写入。
由于设计中包含了低遮挡，μ CAT可用于部分相干照明条件下的检测应用，或检测光面和晶圆上的图像。μ CAT靶目前用于OEM应用，包括掩模和晶片检测和写入。