ULE®7972是一种钛硅酸盐玻璃，具有接近零膨胀特性，使其在独特的应用中成为材料的选择，如机床参考块，光栅，参考块，干涉仪参考镜，望远镜镜子。

• ULE®玻璃是一种单相过冷液体，CTE非常接近0 ppb/K。
• EUV ULE®7973玻璃已经量身定制，以满足EUVL应用掩模和光学基板的需求。
• 光刻技术从193nm过渡到13.4nm需要在步进光学从折射到反射的设计上进行重大转变。在反射光学中，衬底材料应该是纯被动的。入射光应反射出光学和掩模的多层涂层，而不会引入由底层基板引起的任何机械或光学畸变。
• 为了将微小温度变化造成的畸变最小化，并满足严格的EUVL规范，衬底必须具有接近零的热膨胀系数(CTE)和较低的峰谷(P-V) CTE变化。极低的CTE要求以每度开尔文十亿分(ppb/K)为单位。
• 苛刻的CTE要求也迫使计量技术的改进，康宁继续改进计量方法，以满足EUVL的要求。
• 离散裁剪零交叉温度是可能的。

TSGTM 7972低膨胀玻璃是康宁硅酸钛低膨胀玻璃家族的第三个成员。对于那些不需要接近零膨胀材料的应用，TSG有一个宽松的绝对热膨胀系数(CTE)要求。