Tropel®µ猫™
紫外线Micro-Objectives

Tropel®µCAT™UV微物镜

所有被选用于CAT靶的材料都是
超低排气，最大限度减少污染源。

康宁公司的Tropel®law - CAT™系列折反射，长工作距离微物镜是专为深紫外线波长设计的。µCAT优越的设计属性优于史瓦西目标。在考虑全镜系统之前，仔细看看TropelµCAT。

好处

µCAT设计融合了反射和折射元素，使得微物镜具有高数值孔径、长工作距离和低遮挡等特点。高分辨率和先进的光采集，工作距离可与薄膜工作，µCAT的特点结合了性能和灵活性，具有成本效益的解决方案。

带宽

µCAT设计可以提供足够的带宽来容纳基于光源的系统，消除了对昂贵的激光源的需求，降低了系统的总体成本。

性能

透镜内部的中心遮蔽对中频调制传递函数(MTF)(即图像对比度)有直接影响。µCAT的设计减少了遮蔽量，提高了中频MTF。在µCAT设计中，中心遮蔽量可低至15%，而典型的史瓦西目标中心遮蔽量大于35%。

µCAT设计的另一个特点是使用了“浮动”副镜，从而消除了机械支柱或“蜘蛛”，当出现在其他微观目标时，阻碍一些光通过系统。通过消除这些支柱，还可以减少存在于许多反射微物镜系统中的不必要的衍射效果。

使用

由于设计中加入了低遮蔽性，因此µCAT可用于部分相干照明条件下的检测应用，或用于检查网片和晶片上的图像。μ CAT靶目前用于OEM应用，包括掩模和晶片检测和写入。